S300 Gas Mass Flow Controller for N2/Air/H2/O2/Ar/He/NH3/SiH4/CH4 With RS485/EtherCat/0-5V/4-20mA Stainless Steel Alloy Material

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Qingdao Xinnovis Microsystem Technology Co., Ltd. 2 yrs

CN

S300 Gas Mass Flow Controller for N2/Air/H2/O2/Ar/He/NH3/SiH4/CH4 With RS485/EtherCat/0-5V/4-20mA Stainless Steel Alloy Material

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Caractéristiques du produit

Caractéristiques propres à l'industrie

Précision

±0.3%F.S. (≤30%F.S.) / ±1.0%S.P. (>30%F.S.)

Autres caractéristiques

Point d'origine

Qingdao

Matériel

316L Stainless Steel/Aluminum Alloy

Poids de l'article

850g

Garantie

1 Year

Support personnalisé

OEM

Marque nom

Xinnovis

Numéro de Type

S300

Product Name

Gas Mass Flow Controller

Gas Type

Air, N2, O2, Co2, H2, CH4, NH3, SiH4

Full Scale

(0~10,50,100,500)sccm / (0~1, 2, 5, 10, 50)slm

Range Ratio

50:1

Response Time

Controller:≤1s; Flowmeter: ≤10ms

Repetition Accuracy

≤ ±0.2%F.S.

Max. Withstand Pressure

10bar

Operating Temp.

0~50°C

Power Voltage

DC24V, through M8

Top Interface Type

RJ45 Two Network Port (with indicator light)

Emballage et livraison

Unités de vente :

Article unique

Taille du paquet individuel :

12.4X3.5X12.6 cm

Poids brut par article :

0.850 kg

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